| Título:
| Interruptor que traba de Micromechanical | | Patentes ID: | EP1559987A1 | | Fecha de emisión: |
August 03, 2005 |
| Resumen: | Un dispositivo del micro-eléctrico-mecánico-interruptor (MEMS) (100) abarca una oblea de semiconductor (301), una primera capa del semiconductor (302) formada en la oblea de semiconductor (301), y una segunda capa del semiconductor (303) formada en la primera capa (302). Una primera lanzadera movible que traba (A, 103) se forma en la segunda capa (303) y tiene la primera capa (302) quitada debajo de la primera lanzadera movible (A, 103), la primera lanzadera movible (A, 103) siendo movido en una primera dirección (150) concerniente a la oblea (301) en respuesta a una aceleración predeterminada del dispositivo de MEMS (100) en una dirección (151) frente a la primera dirección (150) de tal modo que cambia una condición de funcionamiento del dispositivo de MEMS (100) de un primer estado del interruptor a un estado intermedio del interruptor. Un segundo que traba la lanzadera movible (B, 105) se forma dentro de la primera lanzadera (A, 103), la segunda lanzadera (B, 105) siendo movido en una segunda dirección (152) concerniente a la primera lanzadera (A, 103) en respuesta a una fuerza termal activada para cambiar el estado de funcionamiento del dispositivo de MEMS (100) del estado intermedio del interruptor a un segundo estado del interruptor. En el segundo interruptor indique que una abertura (109) en el segundo que traba la lanzadera movible (B, 105) alinea con una abertura en la oblea (301) para permitir una señal óptica de pasar con las aberturas alineadas. En una segunda encarnación, un dispositivo de MEMS (700) abarca solamente un interruptor movible de la lanzadera (703) formado en la segunda capa (303), el interruptor de la lanzadera (703) que es funcionado en respuesta a una aceleración predeterminada del dispositivo de MEMS (700). |
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Documento Original:
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Micromechanical latching switch
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| Inventor(s):
| | | Cesionario:
| LUCENT TECHNOLOGIES INC.;
(Murray Hill, New Jersey 07974-0636,
US)
| | Agente:
| Watts, Christopher Malcolm Kelway, Dr.; Lucent Technologies NS UK Ltd
5 Mornington Road, Woodford Green
Essex, IG8 0TU, GB
| | Solicitud N º:
| EP1559987
| | Fecha de presentación:
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January 07, 2005
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| Intern'l Clase: |
7F 42C 15/00 A; 7F 42C 15/34 B; 7F 42C 15/40 B; 7H 01H 35/14 B
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| Patente EE.UU. Documento(s): | | | De Relaciones Exteriores de Referencia(s): | |
| | Demanda (s): | Un micro-eléctrico-mecánico-interruptor, MEMS, el abarcar monolítico del dispositivo de semiconductor una oblea de semiconductor, una primera capa dieléctrica formada en la oblea de semiconductor, y una segunda capa del semiconductor formaron en la primera capa; una primera lanzadera movible que trababa formó en la segunda capa y tener la primera capa quitada debajo de la primera lanzadera, la primera lanzadera que era movida en una primera dirección concerniente a la oblea en respuesta a una aceleración predeterminada del dispositivo de MEMS en una dirección frente a la primera dirección para cambiar una condición de funcionamiento del dispositivo de MEMS de un primer estado del interruptor a un estado intermedio del interruptor; un segundo que trababa la lanzadera movible formó dentro de la primera lanzadera, la segunda lanzadera que era movida en una segunda dirección concerniente a la primera lanzadera en respuesta a una fuerza termal activada para cambiar el estado de funcionamiento del dispositivo de MEMS del estado intermedio del interruptor a un segundo estado del interruptor; y en donde en el segundo interruptor indique una abertura en la segunda lanzadera alinea con una abertura en la oblea para permitir una señal óptica de pasar con las aberturas alineadas. El dispositivo de MEMS de la demanda 1 más lejos - abarcando medios para prevenir el movimiento de la segunda lanzadera antes del movimiento de la primera lanzadera. El dispositivo de MEMS de la demanda 1 más lejos - abarcando un interruptor eléctrico para proporcionar una conexión eléctrica del interruptor cuando el dispositivo de MEMS está en el estado intermedio. |
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| | Descripción: | CAMPO TÉCNICO DE LA INVENCIÓNEsta invención se relaciona generalmente con un dispositivo que se arma usado en la fusión de municiones proyectadas y, más particularmente, con un interruptor que traba micromechanical para el uso en dispositivo que se arma.FONDO DE LA INVENCIÓNLas cáscaras de la artillería se equipan de una seguridad y de un dispositivo que se arma (S& A) esa permite la detonación del explosivo llevado solamente después que el proyectil ha experimentado una progresión válida de las condiciones físicas del lanzamiento, incluyendo la aceleración inicial enorme (10,000-80,000g). Las funciones del dispositivo que se arman con los dispositivos de seguridad secuenciales para quitar una barrera en el tren del fuego y/o para mover en desacuerdo fuego-entrenan a componentes en la alineación. Una vez que esté armado, el dispositivo se pueda fundir con, e.g., una descarga eléctrica o un pulso del laser. Para la seguridad, el S& A se requiere poder soportar las municiones que manejan mal gota a partir del 40ft. sin daño o armarse.Un dispositivo que se arma típico es centímetro clasificado y pieza montada usando los tornillos, los pernos, los resortes, y los componentes trabajados a máquina apretado-tolerancia. La vida útil es afectada por el uso de materiales disímiles y por la necesidad de la lubricación. Los esfuerzos que modernizaban recientes del dispositivo que se armaban han sido motivados por un costo más bajo, peso, y volumen. Un tal arreglo descrito por la C. H. Robinson en el U. S. No. de la patente. 6.167.809 dieron derecho “el dispositivo Seguridad-y-Que se armaba Ultra-Miniatura, monolítico, mecánico para las municiones proyectadas” se dirige hacia un dispositivo monolítico del metal (níquel) fabricado usando el proceso que trabajaba a máquina micro de LIGA.A pesar de las mejoras recientes llevadas a cabo en estos dispositivos que se arman, hay una necesidad de continuación de la miniaturización adicional y de la seguridad mejorada de dispositivos qu |
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