| Título:
| MÉTODO DE LA PUNTA DE PRUEBA, PROBER, Y MECANISMO DE PROCESO DEL ELECTRODO RECUCING/PLASMA-ETCHING | | Patentes ID: | EP1544909A1 | | Fecha de emisión: |
June 22, 2005 |
| Resumen: | Un método de la punta de prueba de esta invención incluye un paso de reducir un electrodo (p) de una oblea (w) usando un gas de formación, y un paso de traer el electrodo (p) y un perno de la punta de prueba (14A) en contacto con uno a en una atmósfera seca. El método de la punta de prueba más futuro incluye, antes de un proceso reductor de un electrodo (p) del objeto (W') que se probará, poniendo el objeto (W') que se probará en una atmósfera del gas inerte y la calefacción del objeto (W') que se probará. El proceso reductor es realizado trayendo un gas reductor en contacto con el electrodo (p) del objeto (W') que se probará bajo presión atmosférica. |
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Documento Original:
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PROBE METHOD,PROBER,AND ELECTRODE RECUCING/PLASMA-ETCHING PROCESS MECHANISM
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| Inventor(s):
| | OKUMURA, Katsuya;
(Shinjuku-ku, Tokyo 160-0011,
JP)
, | Información de contacto y correo electrónico | | KOMATSU, Shigekazu,
c/o TOKYO ELECTRON AT LIMITED;
(Yamanashi 407-8511,
JP)
, | Información de contacto y correo electrónico | | ABE, Yuichi,
c/o TOKYO ELECTRON LIMITED;
(Fuchu-shi, Tokyo 183-8705,
JP)
, | Información de contacto y correo electrónico | | FURUYA, Kunihiro,
c/o TOKYO ELECTRON AT LIMITED;
(Yamanashi 407-8511,
JP)
, | Información de contacto y correo electrónico | | VEZIN, Vincent,
c/o TOKYO ELECTRON AT LIMITED;
(Yamanashi 407-0192,
JP)
, | Información de contacto y correo electrónico | | KUBO, Kenichi,
c/o TOKYO ELECTRON AT LIMITED;
(Yamanashi 407-0192,
JP)
| Información de contacto y correo electrónico |
| | Cesionario:
| OCTEC INC.;
(Tokyo 160-0011,
JP)
, TOKYO ELECTRON LIMITED;
(Minato-ku,
Tokyo 107-8481,
JP)
| | Agente:
| Gleiss, Alf-Olav, Dr.; Gleiss Grosse Schrell & Partner
Patentanwälte Rechtsanwälte
Leitzstrasse 45, 70469 Stuttgart, DE
| | Solicitud N º:
| EP1544909
| | Fecha de presentación:
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September 01, 2003
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| Intern'l Clase: |
7H 01L 21/66 A
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| Patente EE.UU. Documento(s): | | | De Relaciones Exteriores de Referencia(s): | |
| | Demanda (s): | Un método de la punta de prueba de traer un perno de la punta de prueba en contacto eléctrico con, de un objeto que se probará teniendo electrodos, por lo menos un electrodo para probar las características eléctricas del objeto que se probará, el abarcar del método de la punta de prueba: (a) realizando por lo menos uno de un proceso reductor y del proceso de la plasma-aguafuerte para el electrodo del objeto que se probará; (b) traer el electrodo de prueba y el perno de la punta de prueba en contacto con uno a en una atmósfera no-que oxida; y (c) probando las características eléctricas del objeto que se probará. Un método de la punta de prueba según la demanda 1, en donde el proceso reductor es realizado trayendo uno de un gas que contiene el gas de hidrógeno y de un gas obtenido activando un gas hidrógeno-que contiene con un metal del catalizador en contacto con una superficie del electrodo del objeto que se probará, el proceso de la plasma-aguafuerte es realizado por contener del gas plasmatized el gas de hidrógeno, y la atmósfera no-que oxida abarca una atmósfera seca. Un método de la punta de prueba según la demanda 2, en donde el metal del catalizador es por lo menos uno de un metal del grupo del platino y de una aleación del metal del grupo del platino. |
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| | Descripción: | Campo técnicoLa actual invención se relaciona con un método de la punta de prueba, un prober, y el mecanismo de proceso de la reducción/de la plasma-aguafuerte de un electrodo. Más específicamente, la actual invención se relaciona con un método de la punta de prueba, un prober, y el mecanismo de proceso de la reducción/de la plasma-aguafuerte de un electrodo que puede mejorar el estado del contacto eléctrico del electrodo de un objeto que se probará y un perno de la punta de prueba.Arte del fondoUn proceso de la fabricación un producto eléctrico y un componente eléctrico (e.g., un semiconductor) incluye varios pasos tales como un paso de la formación de la película de formar varios tipos de capas del metal tales como una capa de la interconexión en un objeto de la blanco (e.g., una oblea), un paso de probar el objeto que se probará que se forma en la oblea, y un paso de probar el objeto empaquetado que se probará. Por ejemplo, para probar las características eléctricas del objeto que se probará que se forma en la oblea, un perno de la punta de prueba se trae en contacto con un electrodo del objeto para ser probado. Una señal de la medida se aplica al objeto que se probará de un probador a través del perno de la punta de prueba. Si eléctricamente ha sido un aislamiento de revestimiento de óxido formado en la superficie del electrodo del objeto que se probará, el electrodo no se puede conectar a veces eléctricamente con el perno de la punta de prueba simplemente trayendo el perno de la punta de prueba en contacto con el electrodo. En este caso, una señal de la prueba no se puede aplicar al electrodo del probador. Convencionalmente, mientras que el perno de la punta de prueba está en contacto con el electrodo con una presión predeterminada de la aguja, el perno de la punta de prueba friega la superficie del electrodo para romper el de revestimiento de óxido en la superficie del electrodo, para traer el perno y el electrodo de la punta de prueba en contacto eléctrico c |
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