| Resumen: | En un método de la inspección del tamaño y un aparato de la inspección del tamaño, aun cuando un objeto de la medida tiene un contorno el tener de tamaños que no se medirán fácilmente y tener un contorno que no se determinarán fácilmente, el contorno y los tamaños puede ser determinada. Un contorno del objeto de la inspección o de la medida se detecta, y las posiciones detectadas se colocan para constituir un grupo de posiciones registradas. En la medida o la inspección, una comparación se conduce con el grupo de posiciones registradas en una dirección de la medida para extraer datos de la correlación dentro de una gama de la medida. Una posición que tiene correlación más alta con el grupo de posiciones registradas se fija como posición respecto a un lado de una localización de la medida del tamaño. Se mide Resultantly, tamaños y se examina un contorno. |
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| Demanda (s): | Se exige: 1. Un método de examinar o de medir tamaños de un objeto, el abarcar pasos de: fijando áreas del registro del contorno por lo menos en dos localizaciones de un objeto de la referencia; colocación de posiciones del contorno de la referencia dicha opóngase en cada uno de las áreas dichas del registro del contorno; fijar una inspección área o un área de la medida para un objeto de la inspección o de la medida; detectando posiciones del contorno de la inspección o de la medida dicha opóngase dentro del área dicha de la inspección o de la medida; obtención de valores de correlación entre las posiciones dichas del contorno de la inspección dicha o el objeto de la medida y las posiciones dichas del contorno de la referencia dicha se oponen; y determinando una posición referente el más alto de los valores dichos de correlación como posición del objeto dicho de la inspección o de la medida. 2. Un método según la demanda 1, en donde el paso de fijar dicho área de la inspección o área dicha de la medida para la inspección dicha o el objeto de la medida incluye un paso de fijar un área que sea más grande que el área dicha de la inspección o de la medida para la inspección dicha o objeto de la medida. |
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| Descripción: | FONDO DE LA INVENCIÓN[0001] La actual invención se relaciona con un método de y un aparato para examinando o midiendo un tamaño de un objeto de una manera sin contacto usando, por ejemplo, un sensor de dos dimensiones tal como una cámara de vídeo, y particularmente, a un método de la inspección o de la medida del tamaño y a un tamaño aparato de la inspección o de la medida conveniente para examinar o medir un objeto usando una imagen de eso agrandada cerca, por ejemplo, un óptico microscopio.[0002] Por ejemplo, JP-B-6-103168 describe una configuración básica de a aparato de la inspección/de la medida del tamaño. En el aparato, como puede ser visto de HIGO. 2, una imagen de un objeto 2 proyectaron por una microscopia óptica 1 es tomado por una cámara de vídeo 3. Un procesador 40 de la medida del tamaño mide eléctricamente tamaños de las secciones deseadas de la imagen obtenida cerca la cámara de vídeo 3. La imagen y los valores de los tamaños del objeto 2 son exhibido en un monitor video 5.[0003] HIGO. 3 demostraciones un ejemplo de una imagen exhibida en una pantalla del monitor video 5 durante la medida del tamaño. L1 al Li indican la exploración líneas. Según las indicaciones de HIGO. 3, para cada línea de exploración horizontal Li del la imagen 55 del objeto 2 tomó por la cámara de vídeo 3 y exhibido encendido el monitor video 5, una característica del luminiscencia-pixel se obtiene para cada posición del pixel determinada dividiendo una señal video de la exploración alinee el Li por N y según la luminiscencia de la posición del pixel. HIGO. 4 demuestra un gráfico del luminiscencia-pixel característico en cuál una ordenada indica que la luminiscencia y una abscisa indica posiciones del pixel. Los tamaños se obtienen según la característica en un método de proceso de el arte anterior. En la distribución de la luminiscencia del HIGO. 4, un máximo el nivel 51 de la luminisce |
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| EE.UU. Aplicación:
| 20010002462 |