|
|
| Título:
| Vacío que procesa el aparato y el método de funcionamiento por consiguiente | | | US20010000048 | | |
March 22, 2001 |
| Resumen: | Esta invención se relaciona con un vacío que procesa el aparato que tiene vacío el procesar de los compartimientos los interiores de los cuales deben ser haber limpiado seca, y con un método de funcionar tal aparato. Cuando el vacío que procesa compartimientos seco-se limpia, los substratos simulados son transferidos en el vacío que procesa el compartimiento por medios del transportador de los substratos de los medios simulados del almacenaje del substrato que se dispone en la atmósfera del aire junto con los medios del almacenaje para almacenar los substratos que se procesarán, y el interior del vacío que procesa el compartimiento seco-es limpiado generando un plasma. El substrato simulado se vuelve a los medios simulados del almacenaje del substrato después de que se termine la limpieza en seco. Por consiguiente, ningún mecanismo específico para solamente el propósito de la limpieza no es necesario y la construcción del aparato se puede hacer simple. Además, los substratos simulados usados para la limpieza en seco y los substratos que se procesarán no coexisten, la contaminación de los substratos a ser procesado debido al polvo y al gas restante puede ser prevenida y la producción de la producción puede ser alta. |
|
|
|
|
|
|
Documento Original:
|
Vacuum processing apparatus and operating method therefor
|
| Inventor(s):
| | Kato;
Shigekazu
(Kudamatsu-shi,
JP,
US)
, | Información de contacto y correo electrónico | | Nishihata;
Kouji
(Tokuyama-shi,
JP,
US)
, | Información de contacto y correo electrónico | | Tsubone;
Tsunehiko
(Hikari-shi,
JP,
US)
, | Información de contacto y correo electrónico | | Itou;
Atsushi
(Kudamatsu-shi,
JP,
US)
| Información de contacto y correo electrónico |
| | Correspondencia:
| ANTONELLI TERRY STOUT AND KRAUS
(ARLINGTON,
VA,
)
| | Código de Serie / n º.:
| 09/725257
|
| Clase actual:
| 34/92
| | En la clase de publicación:
| 34/92
| | Intern'l Clase: |
F26B 013/30
|
| | Demanda (s): |
Se exige:
1. Un método de transferir una muestra, usando una tabla del cassette para el montaje
un cassette que recibe muestras plurales transfirió de otro
posición, tabla dicha del cassette que es expuesta a una atmósfera de transferencia,
el método que abarca los pasos de: el llevar adentro, uno por uno, dicho
muestras en el cassette dicho que se monta en la tabla dicha del cassette, a a
mecanismo de fijación en condiciones atmosféricas por medio de un atmosférico
dispositivo de transferencia; mecanismo de fijación dicho excesivo que cambia del
condición atmosférica a una condición de presión reducida con respecto a
condición atmosférica; llevando adentro, uno por uno, las muestras dichas en dicho
mecanismo de fijación a un compartimiento de transferencia, por medio de un vacío
dispositivo de transferencia que está instalado en el compartimiento de transferencia dicho;
procesando, uno por uno, las muestras dichas llevaron en la transferencia dicha
compartimiento, en un vacío que procesa el compartimiento del proceso plural del vacío
compartimientos; realizando, uno por uno, las muestras procesadas en el vacío dicho
procesando el compartimiento, al mecanismo de fijación dicho en el de presión reducida
condición, por medio del dispositivo de transferencia del vacío dicho; excedente que cambia dicho
mecanismo de fijación de la condición de presión reducida al atmosférico
condición; y realizando, uno por uno, las muestras dichas en la fijación dicha
mecanismo, al cassette dicho montado en la tabla dicha del cassette, por medio de
dispositivo de transferencia atmosférico dicho, en donde, durante una época que dijo
las muestras se llevan, y durante un tiempo de transformación de las muestras dichas, igual
la superficie de las muestras es substancialmente horizontal mantenido. |
|
|
|
| | Descripción: | 1. Este uso es un uso de la continuación de Ser. No. 08/882.731, archivado junio. 26, 1997, que es un uso divisional de Ser. No. 08/593.870, archivado enero. 30, 1996, de el cual es un uso la continuación Ser. No. 08/443.039, archivado el 17 de mayo de 1995, que es un divisional uso de Ser. No. 08/302.443, archivado sept. 9, 1994, que es a Uso de continuación de Ser. No. 08/096.256, archivado julio. 26, 1993, que es un uso la continuación de Ser. No. 07/751.951, archivado agosto. 29, 1991.FONDO DE LA INVENCIÓN2. 1. Campo de la invención3. Esta invención se relaciona con un vacío que procesa el aparato y el funcionamiento método por consiguiente. Más específicamente, la actual invención se relaciona con a limpie el proceso con la aspiradora del aparato que tiene vacío el procesar de compartimientos el interior de cuál debe ser limpiado, y su método de funcionamiento.4. 2. Descripción del arte anterior5. En un vacío que procesa el aparato tal como un aparato seco de la aguafuerte, un CVD aparato o un aparato de la farfulla, un número predeterminado de substratos ser tratado se almacenan como una unidad (que se refiera generalmente como a la “porción”) en un cassette del substrato y se carga en el aparato. los substratos después de ser procesado se almacenan además en la misma unidad adentro se recupera el cassette del substrato y. Éste es un método ordinario de funcionamiento de estos aparatos para mejorar la productividad.6. En tal vacío que procesa el aparato descrito arriba, particularmente adentro un aparato que utiliza una reacción por un gas activo, según lo caracterizado por a los aparatos secos y un aparato del CVD, productos de la aguafuerte de la reacción adhieren a y se depositan en un vacío que procesa el compartimiento con el progreso de proceso. Por esta razón, problemas tales como degradación del vacío funcionamiento, el aumento del polvo, la gota de los niveles de óptico |
|
|
|
| EE.UU. Aplicación:
| 20010000048 |
|